Partikelsensor

Erreicht werden kann dies vor allem durch den sogenannten PM-Wert, zum Beispiel 10 mg/mi in der aktuell geltenden LEVII-Norm oder 4,5 mg/km in der ab 2014 geltenden EU-6-Norm.

Weil die Rohemissionen von Verbrennungsmotoren in der Regel wesentlich höher sind, müssen die Automobilhersteller einen Russpartikelfilter (DPF, Dieselpartikelfilter) als Abgasnachbehandlungskomponente einbauen. Zur Sicherstellung der Einhaltung der Grenzwerte nicht nur bei der Erstzulassung, sondern während des ganzen Zulassungsprozesses werden häufig so genannten On-Board-Diagnosen (OBD) für alle Abgasnachbehandlungskomponenten angeboten.

Ein solches Diagnosegerät kann auch die Aufgabe oder Kontrolle eines Rußpartikelfilters, wie z. B. eines Dieselfilters, übernehmen. Widerstandspartikelsensoren, besonders widerstandsfähige Russpartikelsensoren, stellen hierfür eine Alternative dar. Widerstandspartikelsensoren nutzen z.B. eine Widerstandsveränderung eines Elektronensystems mit zwei auf einem Keramikträgerelement angeordneten Sensoren durch Partikelabscheidung, um Partikelauswurf zu detektieren.

Widerstandspartikelsensoren gehören aufgrund ihrer Funktion zu den Sammelprinzipien. Gegenwärtiges Erfindungsobjekt ist ein Partikelsensor, vor allem ein Diesel-Partikelsensor, mit einem aus mindestens einem Elektrodensatz bestehenden System, der mindestens eine erste und mindestens eine Elektrode einer zweiten Elektrodenanordnung hat, bei dem eine Spannung zwischen den beiden Elektrodensätzen erzeugt werden kann, die erste Elektrodenanordnung und die zweite Elektrodenanordnung auf einem galvanisch getrennten Träger aufgebracht sind und ein Elektrodenabstand von mindestens einem Elektrodensatz in einem Umkreis von ? 200 nm zur Verfügung steht.

Dieser Partikelsensor ist daher besonders resistiv und beruht auf dem Einfluss, dass die zu detektierenden Partikel, die hauptsächlich aus Rußpartikeln wie z. B. Kohle bestehen können, leitend sein können. Der Partikelsensor besteht zu diesem Zweck aus einem mindestens ein Paar Elektroden umfassenden System, bei dem das Paar mindestens eine erste und mindestens eine zweite Elektrodenanordnung hat.

An eine Spannungsquelle sind die Elektrodensysteme bzw. die Elektrodensysteme so anzuschließen, dass eine Spannungsdifferenz zwischen den sich ergänzenden elektrolytischen Systemen erzeugt werden kann. Sind die auf dem Trägermaterial befindlichen Elektrodensysteme nun einem aus den zu detektierenden Partikeln bestehenden Strom unterworfen, verbinden sich diese mit den Mikroelektroden.

Angeschlossene elektrische leitende Teilchen können einen Stromfluß zwischen den einzelnen Elektrodensystemen erlauben oder den Elektrodenwiderstand mindern. Damit können Kapazitäts-, Strom-, Spannungs- und/oder Widerstandmessungen vorgenommen werden, wenn zwischen der ersten und der zweiten Elektrodenkonstruktion ein Potentialaufbau auftritt. Vor allem durch Änderung des Stromflusses, der vorherrschenden Spannungen oder des vorherrschenden Widerstandes über die Zeit können Angaben über die Konzentrationen von elektrischen Leitpartikeln im zu erforschenden Gasfluss gemacht werden.

So ein Partikelsensor kann auch ein Heizkörper enthalten, der für die Erwärmung der Elektrodenstruktur z. B. auf eine Raumtemperatur von 600°C oder darüber und für ca. 1 bis 5 minütig ist. Das kann von Vorteil sein, da ein solcher Partikelsensor wie oben erwähnt ein Sammelsensor ist, der bei starken Verunreinigungen mit Russpartikeln seine Sensitivität einbüßt.

So können die angebrachten Teilchen durch das Heizungselement verbrannt oder im Zuge einer sich wiederholenden Regenerierung aus den Elektrodenkonstruktionen herausgelöst werden. Da zwischen den beiden Meßsonden mindestens eines Elektrodenpaars, d.h. zwischen Meßsonden verschiedener Elektrodenstruktur, ein solcher Partikelsensor im Messbereich von 200 nm zur Verfügung steht, kann nicht nur die Gesamtzahl der abgeschiedenen Teilchen, sondern auch die genaue Anzahl der Rußpartikel pro Meßstrecke ermittelt werden.

So kann im Einzelnen genutzt werden, dass Russpartikel, vor allem aus der Abgasemission von Brennkraftmaschinen, eine Grösse im Umkreis von ? 200 Nanometer, zum Beispiel 20-130 Nanometer, haben können. Oft ist ein Verteilungsschwerpunkt von etwa 80 Nanometern vorhanden, weshalb auch ein Elektrodenabstand von 130 Nanometern, besonders von 80 Nanometern, von Vorteil sein kann.

Dabei können die einzelnen Messsonden oder die Messsonden der entsprechenden Messsondenpaare der Elektrodenstruktur in zwei Elektrodengruppen so zusammengeschaltet werden, dass der Abstand der Messsonde in einem Messbereich der geringsten der im zu messenden Gasfluss enthaltenen Teilchen ist. Durch den ausgeklügelten kleinen Abstand zwischen den einzelnen Elektrodensystemen kann nicht nur eine bestimmte Anzahl oder Gesamtmenge an Teilchen über einen langen Zeitabschnitt detektiert werden, sondern jedes abgeschiedene Rußteilchen kann zu einem plötzlichen Ansteigen des Stromsignales beitragen.

Es ist möglich, die Zahl der anhaftenden Teilchen zu messen, z.B. wenn die Elektrodenkonstruktionen je mehrere einzelne oder gleich beabstandete Elektroden besitzen. Wenn z. B. kleine Teilchen nur zwei elektrische Verbindungen herstellen und zu einem kleinen Anstieg des Stroms beitragen, können grössere Rußteilchen mehrere Elektronen zusammenschalten, was zu einem grösseren Anstieg des Stroms beitragen kann.

So ein Partikelsensor kann für eine On-Board-Diagnose des Schwebstofffilters besonders günstig sein. Von besonderem Wert kann die Ermittlung der Korngrößenverteilung bzw. der Korngröße der im Gasfluss befindlichen Teilchen sein, da die Anzahl der Rußpartikel bzw. die Korngröße der Rußpartikel sinnvoller sein kann als die Masse der angehängten Teilchen, vor allem zur Darstellung der Gesundheitsrisiko.

Eine bestimmte Menge kann durch wenige Rußteilchen oder durch viele kleine Rußteilchen entstehen, wodurch diese aufgrund der Respirabilität kleiner Teilchen die deutlich stärkere krebserzeugende Auswirkung haben. Der ausgeklügelte Partikelsensor ermöglicht es, nicht nur die Partikelmasse am Fühler und damit die Partikelmasse in einem Gasstrom zu bestimmen und zu detektieren.

Entsprechend der Erfindung ist es auch möglich, die Partikelgröße oder -verteilung im Rauchgas zu erfassen. Es kann im Zuge einer Konstruktion ein Elektrodenabstand von mindestens einem Elektrodenpaar bereitgestellt werden, der im Umkreis von ? 20 sm ist. Solche Entfernungen tragen besonders vorteilhaft dazu bei, dass auch kleine Partikelgrößen, besonders in einem Kraftfahrzeugabgasstrom, vorhanden sein können, die bis zu einem Messbereich von 20 Nanometern oder darunter reichen können.

Diese Konstruktion ist besonders vorteilhaft, um auch die kleinsten Teilchen zuverlässig und zuverlässig detektier- und messbar zu machen. Bei einer weiteren Ausführung kann mindestens ein erstes Elektrodensatzpaar mit mindestens einer ersten und mindestens einer zweiten Elektrodensatzstruktur und mindestens ein zweites Elektrodensatzpaar mit mindestens zwei unterschiedlich strukturierten Elektrodensatz zur Verfügung gestellt werden, von denen ein Elektrodenabstand A 1 zwischen den Elektrodensatz des ersten und ein Elektrodenabstand A 2 zwischen den Elektrodensatz des zweiten Elektrodensatzpaares vorhanden ist und der Elektrodenabstand A 1 grösser oder kleiner ist als der Elektrodenabstand A 2, so dass bei dieser Ausführung verschiedene Elektrodenabstände zwischen den Elektrodensatzpaaren realisierbar sind.

So kann z.B. eine Entfernungsverteilung bereitgestellt werden, die im Wellenlängenbereich von 20 bis 130 km liegt. Bei dieser Ausführung kann eine besonders präzise Bestimmung einer Grössenverteilung der im zu messenden Gasfluss befindlichen elektrischen Leitpartikel durchgeführt werden, da z.B. zu unterscheiden ist, ob eine Brückenbildung mehrerer Elektrode des Elektronensystems durch anhaftende Teilchen und damit ein Stromsprung durch ein grosses Teilchen oder mehrere kleinere Teilchen verursacht wird.

In einem weiteren Entwurf bildet die erste und die zweite Elektrodenkonstruktion ein interdigitales Elektrodensystem mit wenigstens zwei interdigitalen Elektroden, die wie ein Kamm ineinandergreifen. Der Partikelsensor kann im Zuge einer weiteren Konstruktion in der Abgasanlage eines Kraftfahrzeuges unterzubringen sein. Der Partikelsensor nach der Erfindung eignet sich besonders für Fahrzeuge, um die Effektivität eines vor dem Partikelsensor angebrachten Schwebstofffilters zu prüfen.

Besonders bei einer Anbringung in der Abgasanlage eines Kraftfahrzeuges ist eine besonders zuverlässige Vermessung möglich. Dabei kann es sich vor allem um ein Diesel- oder Benzinfahrzeug handeln. Der Partikelsensor kann zudem direkt im Abgasfluss oder auch in einem vom Abgasfluss abgezweigten Teilluftstrom angeordnet werden.

Wird der Sensor dagegen in einem vom Abgasfluss abgezweigten Teilluftstrom positioniert, kann der Partikelsensor vor der sonst üblichen Abgastemperatur des Fahrzeugs geschützt werden. Hinsichtlich der weiteren Vorzüge und technischen Eigenschaften des Teilchensensors gemäß der Erfindung verweisen wir ausdrücklich auf die Erläuterungen zu den Prozessen gemäß der Erfindung, den Abbildungen und der Abbildungsbeschreibung.

Thema der aktuellen Entwicklung ist auch ein Herstellungsverfahren eines Teilchensensors gemäß einer Entwicklung, bei dem ein Elektronensystem auf ein elektrisches Isoliersubstrat aufgetragen wird, das mindestens ein Elektronenpaar umfaßt, das mindestens eine erste Elektrodenanordnung und mindestens eine zweite Elektrodenanordnung besitzt und einen Elektrodenabstand von mindestens einem Elektronenpaar hat, der in einem Umkreis von ? 200 nm liegen.

Solch ein Prozess ist also besonders geeignet, um einen Partikelsensor entsprechend der Erfindung zu erzeugen. Die Elektrodenkonstruktionen können so auf ein galvanisch getrenntes Trägermaterial aufgetragen werden, dass ein Elektrodenabstand von mindestens einem Elektrodenpaar im Umkreis von ? 200 nm zur Verfügung steht. Erreicht wird dies vor allem durch ein Elektronenstrahllithographieverfahren, mit dem auch solche kleinen Entfernungen ohne Probleme erreicht werden können.

Für die Zwecke dieser Entwicklung kann ein Elektronenstrahllithographieverfahren vor allem als ein Prozess zur "Belichtung" einer elektronenstrahlempfindlichen Lage aufgefasst werden, die zum Beispiel aus der Mikro- und Halbleitertechnologie bekannt ist. So können die Kondensatorelektroden auf das Trägermaterial aufgetragen oder auf herkömmliche Art und Weise, z. B. durch chemisches oder physikalisches Abscheiden eines Metalles, resistent gemacht werden. Andere Möglichkeiten zur Erzeugung solcher Strukturen sind die Immersionslithografie, vor allem in Verbindung mit Mehrfachstrukturierungen, wie z.B. Doppelbelichtung oder Doppelätzung.

Zum Beispiel kann eine so genannte DUV-Strahlungsquelle (Deep Ultraviolet) eingesetzt werden, die besonders die Wellenlänge von 200 nm, bevorzugt 20 nm, emittiert, wie z.B. ein Titan-Saphir-Laser. Eine weitere Photolackschicht wird dann auf das Trägermaterial aufgetragen und erneut freigelegt, wodurch weitere Strukturierungen zwischen den einzelnen Schichten in der harten Maske entstehen. Hinsichtlich der weiteren Vorzüge und technischen Eigenschaften dieses genialen Prozesses wird ausdrücklich auf die Erläuterungen zum weiteren genialen Prozess, dem genialen Partikelsensor, den Abbildungen und der Figurbeschreibung hingewiesen.

• die Elektrodenstruktur dem zu messenden Gasfluss exponiert wird, - die aus der Partikelabscheidung resultierenden Spannungs- und/oder Stromänderungen und/oder Widerstände zwischen den beiden Elektroden eines Elektrodenpaars individuell, vor allem an jedem Paar von Elektroden, abgelesen werden. Mit einem ausgeklügelten Messverfahren zum Nachweis von Teilchen in einem Gasfluss mit einem vorgeschriebenen Partikelsensor kann so eine Stromspannung an die beiden Elektrodenpaare gelegt werden, vor allem durch eine an sich bekannt gewordene Stromquelle, so dass eine Potentialdifferenz zwischen den beiden Elektroden der verschiedenen Elektrodensysteme oder einem Paar von Elektrodensystemen entsteht.

Wenn der Partikelsensor in Berührung mit einem Gasfluss kommt, der elektrische leitende Teilchen enthält, können sich die Teilchen auf dem Partikelsensor oder auf den Strukturen der Elektrode ansammeln. Da die anhaftenden Teilchen leitend sind, ändert sich der elektrische Isolationswiderstand zwischen den Einzelelektroden bzw. der Stromfluss zwischen den Einzelelektroden.

Diese Änderung von Strom, Widerstand, Strom, Spannungen und Kapazitäten kann individuell erfasst werden, vor allem zwischen den beiden Messsonden eines jeden Messstoffpaar. Mit einer solchen Maßnahme lassen sich präzise und zuverlässig Rückschlüsse auf die angehängten Teilchen ziehen. Abhängig von der Messmethode oder der angestrebten Strom-, Spannungs- und/oder Kapazitätsmessung können entsprechende Schaltungen des Teilchensensors oder der Elektrodenstruktur mit der Stromquelle und/oder dem Messgerät implementiert werden, die dem Experten bekannt sind.

So kann z.B. ein Steuergerät eingesetzt werden, das eine Warnung auslöst, z.B. eine Warnleuchte, wenn die Rußemission oder die Beschaffenheit der Rußteilchen, wie z. B. die verschiedenen Rußteilchengrößen, in einen Grenzwert abfällt. Durch die Auswertung der Spannungs- und/oder Stromänderungen und/oder des spezifischen Widerstands eines oder mehrerer der entsprechenden Elektrodensysteme kann im Zuge einer Auslegung eine Grössenverteilung der erfassten Teilchen und/oder die Teilchenkonzentration und/oder der Teilchenmassenstrom ermittelt werden.

Diese Größenbestimmung bzw. -verteilung der erfassten Teilchen kann vor allem durch einen kleinen Abstand zwischen den einzelnen Elektrodensystemen entsprechend der Erfindung erfolgen. Kleinstpartikel können im Einzelnen zuverlässig und individuell detektiert werden. Die Erkennungsgenauigkeit kann vor allem vom Abstand der Elektrode abhängen.

Als Teil einer weiteren Konstruktion kann der Partikelsensor während einer laufenden Temperaturmessung auf eine Taupunkttemperatur über dem Taupunkt des Wassers erwärmt werden. Auf diese Weise ist es möglich, den Einfluß von Shunts oder anderen schädlichen Feuchtigkeitseinflüssen zwischen den einzelnen Messketten zu unterdrücken. Zu diesem Zweck kann z.B. ein Heizgerät zur Beheizung des Sensors im Netz bereitgestellt werden.

Hinsichtlich der weiteren Vorzüge und technischen Eigenschaften dieses genialen Prozesses wird ausdrücklich auf die Erläuterungen zum weiteren genialen Prozess, dem genialen Partikelsensor, den Abbildungen und der Figurbeschreibung hingewiesen. 3 eine Schemadarstellung einer Entwurfsform eines erfinderischen Teilchensensors mit angehängten Teilchen verschiedener Größen in der Grundrissdarstellung; 3 eine Schemadarstellung, die eine grafische Bewertung der Erkennungsergebnisse eines erfinderischen Teilchensensors zeigt.

Im Bild 1 ist eine Teilfläche eines erfinderischen Teilchensensors 10 schematisch dargestellt. Die Partikelsonde 10 kann besonders in der Abgasanlage eines Kraftfahrzeuges angebracht werden. Der Partikelsensor 10 kann z.B. direkt in der Abgasanlage oder in einem von der Abgasanlage abgezweigten Nebenstrom sein. Mit dem Partikelsensor 10 wird vor allem die Zahl der in einem Gasfluss befindlichen Partikel, besonders leitfähige Partikel, erfasst.

Ein solcher Partikelsensor 10 kann prinzipiell in einem Werkstattmeßgerät zur Abgasanalyse oder in einem Meßgerät zur Überprüfung der Luftgüte oder in Rußpartikelsensoren und/oder zur Funktionsüberwachung eines Brennkraftmotors oder einer Brennkraftanlage und/oder zur Funktionsüberwachung eines Partikelfilters und/oder zur Beladungsüberwachung eines Partikelfilters oder zur überwachung von Fertigungsprozessen, Abluftsystemen und/oder Abluftreinigungsanlagen eingesetzt werden.

Die Partikelsonde 10 besteht aus einem Elektronensystem 12 mit mindestens einem Paar aus Elektroden, das mindestens eine Messsonde 14 einer ersten Messsonde 16 und mindestens eine Messsonde 18 einer zweiten Messsonde 20 hat. Von mindestens einem Paar ist zwischen den beiden Meßsonden 14, 18 ein Elektrodenabstand von ? 200 nm vorhanden.

Zu bevorzugen ist ein Elektrodenabstand zwischen den beiden Enden von mindestens einem Elektrodenpaar, der im Umkreis von ? 20 nl liegt. Der erste Elektrodenaufbau 16 und der zweite Elektrodenaufbau 20 sind auf einem galvanisch getrennten Träger 22, namentlich einem keramischen Träger oder einem anderen galvanisch getrennten Träger 22, angebracht.

Die erste und die zweite Elektrodenanordnung 20 können ein interdigitales Elektronensystem mit wenigstens zwei interdigitalen Elektroden bilden, die wie ein Kamm ineinandergreifen. Im Bild 2 ist eine weitere Abbildung einer Teilfläche eines solchen Teilchensensors 10 dargestellt. Die Elektrodenanlage 12 kann auf Träger 22 z. B. durch Elektronenstrahl-Lithographie und/oder Elektronenstrahl-Lithographie oder Immersionslithografie, vor allem in Verbindung mit Mehrfach-Strukturierung, gefertigt werden.

Zusätzlich zu dem mindestens einen ersten Elektrodepaar mit mindestens 14 der ersten und mindestens 18 der zweiten Elektrodenanordnung 20 kann in einem solchen Partikelsensor 10 mindestens ein zweites Elektrodepaar mit mindestens einer ersten 32 und einer zweiten 34 verschiedener Elektrodenanordnung bereitgestellt werden.

Es kann ein Elektrodenabstand A 1 zwischen den beiden ersten Elektrodenpaaren 14, 18 und ein Elektrodenabstand A 2 zwischen den beiden zweiten Elektrodenpaaren bereitgestellt werden. Die Entfernungen A 1, A 2 können gleich sein, oder der Entfernung A 1 kann grösser oder kleiner als der Entfernung A 2 sein. 16, 18 zurück zu 1 Die Elektrodenkonstruktionen haben je einen Elektroanschluss 24, 26.

Mit Hilfe des Elektroanschlusses 24, 26 kann eine elektrische Spannungsversorgung an die Elektrodenstruktur 16, 20 oder an die verschiedenen Elektroden 14, 18 eines Elektrodenpaars gelegt werden, um eine elektrische Spannungsdifferenz zu generieren. Dazu kann eine dem Spezialisten per se bekannte Stromquelle 28 bereitgestellt werden, die an die Klemmen 24, 26 angeschlossen wird, um eine Spannungsdifferenz zu generieren.

Des Weiteren kann ein Messgerät 30, wie z. B. ein Strömungs-, Widerstands- und/oder Spannungsmessgerät, mitgebracht werden. Durch den Abstand der beiden Meßsonden 14, 18; 32, 34 und die Anordung auf einem galvanisch getrennten Träger 22 zwischen den Meßsonden 14, 18; 32, 34 verschiedener Elektrodenaufbauten 16, 20 fließen im Massezustand keine Ströme zwischen den Meßsonden 14, 18; 32, 34. Werden jedoch die Elektrodensysteme 16, 20 einem Gasfluss ausgesetzt, so werden auf den Elektrodensystemen 16, 20 elektrische leitende Teilchen abgeschieden.

Die Abbildung 1 stellt die am Partikelsensor 10 oder an den Strukturen 16, 20 angebrachten leitfähigen Teilchen mit unterschiedlicher Grösse oder unterschiedlichem Querschnitt vor. Das mit a gekennzeichnete Teilchen hat eine Grösse von 20 Nanometern, das mit b gekennzeichnete Teilchen hat eine Grösse von 40 Nanometern, das mit c gekennzeichnete Teilchen hat eine Grösse von 60 Nanometern, das mit d gekennzeichnete Teilchen hat eine Grösse in einem Messbereich von 80 Nanometern, das mit e gekennzeichnete Teilchen hat eine Grösse in einem Messbereich von 100 Nanometern und das mit f gekennzeichnete Teilchen hat eine Grösse in einem Messbereich von 120 Nanometern.

Man sieht, dass Teilchen a nur zwei Elektronen verbinden. Das nächst größere Teilchen b hingegen schließt zum Beispiel drei weitere an. Je nach Partikelgröße steigt die Zahl der durch Zugabe von Partikeln untereinander verbundener Elektronen an. Zum Beispiel schließt das Teilchen mit einer Grösse von 120 Nanometern (Teilchen f) bereits sechs Elektronen zusammen, wenn z.B. die Elektronen 20 Nanometer voneinander entfernt sind.

Abhängig von den angeschlossenen Messketten und damit der Partikelgröße kann z.B. ein Stromsprung ermittelt werden. Ausschnitt 3 stellt ein Messverfahren zur Erfassung von in einem Gasfluss befindlichen elektrischen Leitpartikeln dar. Die Elektrodenkonstruktionen 16, 20 sind dem zu prüfenden Gasfluss unterworfen. An den Elektrodenkonstruktionen 16, 20 heften sich die elektrischen Leitpartikel an.

In einem solchen Messverfahren kann nun die Veränderung von Strom und/oder Strom und/oder elektrischem Widerstand zwischen den beiden Messsonden 14, 18; 32, 34 eines Elektrodenpaars, vor allem an jedem Messsondenpaar, durch Zugabe von Partikeln z. B. mit unterschiedlicher elektrischer Leistung abgelesen werden. Durch die Auswertung der Spannungs- und/oder Stromänderungen und/oder des spezifischen Widerstands der entsprechenden Elektrode kann vor allem eine Grössenverteilung der erfassten Teilchen und/oder der Teilchenkonzentration und/oder des Partikelmassenstroms errechnet werden.

Die Abbildung 3 verdeutlicht, dass das anhaftende Teilchen a einen relativ niedrigen Anstieg des Stromes I0 auslöst. Sind jedoch bereits drei Messketten angeschlossen (Partikel b), liegt der Stromzuwachs im zweistelligen Prozentbereich (2I0). Der Anstieg des Stroms nimmt mit der Grösse der angeschlossenen Teilchen und damit der Zahl der untereinander vernetzten oder gebrückten Elektronen zu (a?f).

Die Größenordnung des Stromanstieges sowie die Veränderung der Spannungen oder Widerstände lassen einen direkten Rückschluß auf die Grösse der angeschlossenen Teilchen und damit auf die im Gasfluss enthaltene Korngrössenverteilung zu. Das kann besonders für die Erkennung von Russpartikeln aus der Abgasemission von Brennkraftmaschinen mit einer Grösse von etwa 200nm, z.B. 20 bis 130 sm mit einem Verteilungsfokus bei etwa 80 sm, von Vorteil sein.

Vorteilhaft ist, dass der Partikelsensor 10 oder die Elektrodenstruktur 16, 20 auf eine Taupunkttemperatur erwärmt werden kann, wobei ein besonders präzises Messprinzip möglich ist.